潔淨（jìng）服漢姆克滾筒試驗（yàn）機（jī）

執行標準

IEST-RP-CC003.3

技術（shù）參數

控製係統：PLC;

操作界麵：彩色（sè）7寸觸摸屏，中英文切換；

國產粒子計數器：0.3um-0.5um，數量1套；

進口粒子計數器：美國進口，數量1套（tào）

滾筒尺寸：外尺寸430mm*330mm，內筒尺（chǐ）寸330mm*330mm；

轉速：10rpm；

試驗步驟

A將球磨機放在潔（jié）淨工作台上便（biàn）於操作的位置，潔（jié）淨室的潔淨度應不低於ISO5級（jí）將滾筒安裝在球磨機上,潔淨室內氣流（liú）方向垂直於滾筒（tǒng）軸線;

B讓球磨機運轉。用秒（miǎo）表檢查滾筒的轉速，將轉速調至（zhì）10(士0.1)rpm，在（zài）數（shù）據表上記錄轉速。

注:有必要多測幾（jǐ）圈以保證本試驗要（yào）求轉速測量精度（dù）;

C安裝空氣采樣管，從滾筒內抽取空氣。采樣管應平行於旋轉軸線，采（cǎi）樣管和旋轉的壟條之（zhī）間有 2.5 cm(1 in.)的空（kōng）檔，采樣口距滾筒（tǒng）前端5cm。采樣口處在滾（gǔn）筒順時針方向11點（diǎn）鍾的位置。目測檢查空氣采樣管入口和滾筒內部的粒子沉積情況（kuàng）。注（zhù）:空氣采樣管（guǎn）入口應光滑無毛刺，以避免磨損被試服裝;

D在潔淨室（shì）內靠近滾筒裝衣入口處（chù），用粒子計數器測量>0.3um的（de）粒子（zǐ）濃度，記為“潔淨室（shì）濃度”。用40cm(15.7in.)長的柔（róu）性導電塑料管（guǎn）將采（cǎi）樣管連接到粒子計數（shù）器上（shàng）。使用導電采樣管（guǎn），不鏽鋼采樣管應接地。選擇合適的（de）管件以避免驟縮（suō）或驟（zhòu）擴（kuò）。妥善安放計數器以避免（miǎn）采樣管上出現急（jí）彎。

E按ASTMF50的規定設置並操作粒子（zǐ）計數器

F在旋轉的滾筒內采樣測量顆粒物濃度。該（gāi）濃度應不偏離潔淨室內測背景濃度(按B2.5.5a測定的濃度)的10%。檢查背景濃度時，使用技術（shù）器的小粒徑（jìng）檔（dàng）作為參照（zhào）。注:若旋轉中的滾筒內（nèi）粒子計數（shù）高出試驗在潔淨室粒子濃（nóng）度10%,則應在滾筒靜止時用過濾(孔徑 0.45 um)後的帶空氣或帶壓力的氮氣吹掃滾筒內表麵，吹走可分離的顆粒物。汙染嚴重時，可使用浸有少（shǎo）許去離子水或含9%異丙醇去（qù）離子水（shuǐ）溶進行衝（chōng）洗，然後幹（gàn）燥.